TANIM

Taramalı Elektron Mikroskobu, odaklanmış elektron hüzmesiyle numuneyi tarayarak numuneden görüntü meydana getiren bir elektron mikroskobu türüdür. Elektronların örnekteki elektronlarla etkileşimi detekte edilebilen çok çeşitli sinyaller üretir. Bu sinyaller örneğin yüzey topografisi ve kompozisyonu hakkında bilgi içerir. Elektron hüzmesi genellikle tarama örüntüsü biçiminde taranır. Görüntü oluşturmak için hüzmenin pozisyonu detekte edilen sinyalle birleştirilir. SEM'de 1 nm'den daha iyi bir çözünürlük başarılabilir. örnekler yüksek vakumda, düşük vakumda incelenebilir. Çevresel SEM örnekleri yaş koşullarda incelenmelidir.

Cihaz Marka: FEI

Cihaz Model: Quanta FEG 250

 

 

Yapılan Analizler

 

• Metalik ve İletken numunelerin analizi

 

 

• Yalıtkan ve Polimerik numunelerin analizi

 

TEKNİK ÖZELLİKLER

 

Elektron Optik

1- Yüksek Çözünürlüklü Schottky Alan Emisyonu

2- Yüksek Parlaklık/Yüksek Akım için optimize edilmiş SEM kolonu

3- Lens içinden diferansiyel pompalama ve ısıtılmış objektif aralığıyla 45° objektif lens geometrisi

4- Maksimum Yatay alan genişliği:10 mm analitik çalışma mesafesinde 5 mm, 25 mm çalışma mesafesinde 8 mm

5- İvmelenme Voltajı: 200V'dan 30 kV'a

6- Prob Akımı:<= 200 nA, sürekli ayarlanabilir

7- Büyütme: 14'den 1000000'a kadar

 

Elektron Hüzme Çözünürlüğü

1. Yüksek Vakumda

• 30 kV'da 0.8 nm (STEM)*
• 30 kV'da 1.0 nm* (SE)
• 30 kV'da 2.5 nm (BSE)*
• 1 kV'da 3.0 nm (SE)

2. Yüksek Vakumda Hüzme yavaşlatma opsiyonuyla

• 1 kV'da 3 nm (BD modu* + BSE*)

3. Düşük Vakumda

• 30 kV'da 1.4 nm (SE)
• 30 kV'da 2.5 nm (BSE)*
• 3 kV'da 3 nm (SE)

4. Genişletilmiş Vakum Modunda (ESEM)

• 30 kV'da 1.4 nm (SE)

Detektörler

• Everhardt Thornley SED (ikincil elektron detektörü)
• STEM Detektörü
• vCD Detektörü
• EDS Detektörü
• Geniş Alan Düşük Vakum ikincil elektron detektörü (LFD)
• Gaz ikincil elektron detektörü (GSED) (ESEM modunda kullanılır)
• Yüksek hassaslık düşük kV SS-BSED*
• odacıkdaki örneği gözlemek için IR kamera